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スパッタリング法により作製したタンタル酸化物薄膜からの青色発光の観測(光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般)
スパッタリング法により作製したタンタル酸化物薄膜からの青色発光の観測(光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般)
2007
kenta miura
hirosi ki miyazaki
osamu hanaizumi
Keywords:
Electronic engineering
Microelectromechanical systems
Materials science
Nanotechnology
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