金/钆柱腔与金/钆CH柱腔的制备
2006
制备金/钆混合膜时,由于金/钆两者原子半径和电负性相差较大,不易形成大量的固溶体,内应力较大,金/钆混合膜极易破碎,为此采用制备金/钆多层膜的方法来减少薄膜的应力,解决金/钆膜破裂的问题。制备参数对薄膜的影响较大,研究了不同溅射压强、不同溅射功率、不同周期厚度和不同原子比的金/钆多层膜对多层膜结构的影响。
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