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기판 검사 및 재생 방법

2016 
본 발명은 기판 검사 방법 및 재생 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 의한 기판 검사 방법의 일 양태는, 적어도 일부가 투명한 기판 검사 방법에 있어서: 검사 대상인 기판의 표면 일지점(point)에 기설정된 양의 양자점이 드로핑(dropping)되는 양자점 드로핑 단계(S10); 상기 양자점 드로핑 단계(S10)에서 표면에 양자점이 드로핑된 상기 기판의 표면에 자외선을 조사하는 자외선 조사 단계(20); 및 상기 자외선 조사 단계(S20)에서 조사된 자외선에 의하여 상기 기판의 표면 일지점에 드로핑된 상기 양자점이 발광하면 이에 의하여 상기 기판의 테두리에서 광이 검출되었는지 여부에 따라서 상기 기판의 표면에 형성되는 홈의 존부가 판단되는 기판 검사 단계(S30); 를 포함한다.
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