液体循環ユニット、液体循環装置、及び塗布体の製造方法
2009
【課題】従来の種々の課題を解決することのできる液体循環ユニット、液体循環装置、及び塗布体の製造方法を提供する。 【解決手段】液体循環ユニット23は、インクを収容する第1の液体収容部8と、第1の液体収容部8に収容されているインクの液面を検知するセンサS3及びS4と、センサS3及びS4の検知結果に基づいて第1の液体収容部8から外部にインクを送る送液ポンプ12と、送液ポンプ12によって送られたインク中の溶存気体を除去する脱気用配管11と、送液ポンプ12によって送られたインク中の不純物を除去するフィルター13と、第1の液体収容部8から外部にインクが送られる際に開くダイヤフラム弁14と、外部から第1の液体収容部8にインクが送られる際に開くコック弁15とを備え、液体循環装置に取り外し可能に設けられる。 【選択図】図1
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