スペーサー用感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法

【課題】高感度、高解像度であり、かつパターン形状、圧縮強度、ラビング耐性、透明基板との密着性などの諸性能に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができ、焼成時の昇華物の発生が抑制された感放射線性樹脂組成物、それから形成されたスペーサー、およびその形成方法を提供すること。 【解決手段】（Ａ）カルボキシル基およびエポキシ基を有し、かつゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定したポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）とポリスチレン換算数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．７以下である重合体、（Ｂ）重合性不飽和化合物および（Ｃ）感放射線性重合開始剤、を含有する感放射線性樹脂組成物であって、（Ａ）重合体を製造するリビングラジカル重合が特定のチオカルボニルチオ（ジスルフィド）化合物を分子量制御剤として用いる重合である、スペーサー形成用感放射線性樹脂組成物。 【選択図】なし