Fluide de rincage pour lithographie

L'invention fournit un nouveau fluide de rincage susceptible de convertir une surface de motif de resist facilement humectable ayant un angle de contact inferieur ou egal a 40° en une surface ayant un angle de contact superieur ou egal a 70° pour empecher l’effondrement du motif de maniere efficace et donc donner des produits de grande qualite. Le fluide de rincage se compose d’une solution contenant au moins un compose fluore soluble dans l’eau ou dans des solvants alcooliques selectionne parmi les composes representes par la formule generale (I), les composes representes par la formule generale (II) et les composes representes par la formule generale : Rf'-COOH: (I) (II) ou R1 et R² sont chacun un alkyle C1-5 substitue en option dont les atomes d'hydrogene sont remplaces partiellement ou completement par du fluor, ou R1 et R² de meme que les groupes SO2 auxquels ils sont lies et l’atome d’azote peuvent constituer un anneau a cinq ou six elements ; Rf est un alkyle C1-5 substitue en option dont les atomes d'hydrogene sont remplaces partiellement ou completement par du fluor ; m et n sont chacun un entier de 2 ou 3 ; et Rf’ est un alkyle au moins partiellement fluore ayant 8 a 20 atomes de carbone.