積層パターン形成方法とその形成装置、積層体、電子回路部品及び多層回路基板の製造方法

2007 
【課題】積層パターン形成工程の連続処理化を可能として、製造設備の簡素化と製造コストの低減を図ることのできる、多層配線基板等の製造に用いる積層体の積層パターン形成方法、その形成装置及び積層体を提供する。また、その積層パターン形成方法に基づき製造される多層回路基板の製造方法及びその多層回路基板を用いた電子回路部品を提供する。 【解決手段】単一又は複数の感光ドラム1を用いて、認識カメラCにより絶縁性基体13及び/又は直前の絶縁体層又は導体層の一部又は全部を位置合わせの基準位置として判別し、判別した基準位置に基づき、絶縁性基体上に導体層と絶縁体層の組を1組以上積層定着させた積層パターンを形成する。 【選択図】図1
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