Film conducteur transparent depose sur un substrat et procede de fabrication d'un filtre colore

2002 
L'invention concerne un procede permettant de fabriquer un substrat sur lequel un film conducteur transparent est depose. Ledit procede consiste 1) a former un film ITO sur un substrat par pulverisation d'une cible d'un corps fritte d'oxyde d'indium-etain dans une atmosphere de gaz inerte ou de melange de gaz inerte et d'oxygene a l'aide d'une alimentation C. C. ou C. C. + R. F.; et 2) a former un film ITO et/ou un film d'oxyde d'indium sur le film ITO forme a l'etape 1) par pulverisation d'au moins un type de cible selectionnee dans le groupe constitue par un corps fritte d'oxyde d'indium-etain et un corps fritte d'oxyde d'indium a l'aide d'une alimentation C. C., d'une alimentation R. F. ou d'une alimentation C. C. + R. F. Un filtre colore presentant une conductivite elevee et une excellente transparence est fabrique par formation d'un film ITO sur un substrat sur lequel un film de protection contre la lumiere et un film de resine coloree sont formes.
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