Conductive sliding film, the conductive sliding film is formed member, and a manufacturing method thereof

2011 
導電性摺動膜50は、相対摺動する部材60の表面に施される皮膜である。 導電性摺動膜50は、金属元素がドープされ、導電率が10 2 〜10 −4 [Ωcm]の範囲にあり、表面硬度が10〜30[GPa]の範囲にある金属ドープテトラヘドラルアモルファスカーボンである。 導電性摺動膜は、高い耐摩耗性及び良好な摺動性を備え、カメラ用マウント部材に好適である。
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