真空成膜装置、エッチング装置等における装置構成部品、およびその製造方法と再生方法

【課題】 成膜装置、プレクリーニング装置等の内部に配置される装置構成部品に厚膜状に付着した物質の剥離、 脱落を長時間に亘って抑制して汚染源のパーティクルを発生させず、装置のメンテナンスに際しては、付着物を容易に除去することができる装置構成部品を提供すること。 【解決手段】 プラズマ・プレクリーニング装置１０内に配置される石英ホルダー１を基材とし、ブラスト処理した表面粗さＲａが約１０μｍの面にＡｌ溶射膜を形成して表面粗さＲａを１４〜５０μｍとし、更にその面にプラズマ溶射法によるＡｌ 2 Ｏ 3 溶射膜を形成して表面粗さＲａを１０〜５０μｍとする。このような溶射石英ホルダー１Ａは付着物が厚膜化しても容易には剥離せず、メンテナンス時にはアルカリ水溶液によってＡｌ溶射膜を溶解することにより、基材の石英ホルダー１から付着物をＡｌ 2 Ｏ 3 溶射膜と共に除去して再使用することができる。 【選択図】 図１