열전 소자 측정 장치 및 방법

본 발명의 따른 열전 소자 측정 장치는 샘플의 제 1 측면의 온도를 제어하는 고온 히터, 상기 샘플의 제 2 측면의 온도를 제어하는 저온 히터, 상기 고온 히터보다 작은 단위로 상기 샘플의 제 1 측면의 온도를 제어하는 미세조정 히터, 상기 고온 히터, 상기 저온 히터 및 상기 미세조정 히터를 제어하고, 상기 샘플의 제 1 및 제 2 측면의 전압들을 측정하는 온도 제어 및 전압 측정부, 그리고 상기 샘플의 제 1 측면에서 발생하는 고온 출력 전압 및 상기 샘플의 제 2 측면에서 발생하는 저온 출력 전압을 이용하여 상기 샘플의 열 전도도를 측정하는 열 전도도 측정부를 포함한다.