Refroidissement pixellisé, ensemble de support de substrat à température régulée

Des modes de realisation selon la presente invention concernent un ensemble de support de substrat pixellise qui permet un reglage aussi bien lateral qu'azimutal du transfert de chaleur entre un mandrin electrostatique et une base de refroidissement comprenant l'ensemble de support de substrat, lequel, a son tour, permet le reglage aussi bien lateral qu'azimutal d'un substrat traite sur l'ensemble de support de substrat. L'invention concerne egalement une chambre de traitement comportant un ensemble de support de substrat pixellise et un procede de traitement d'un substrat utilisant un ensemble de support de substrat pixellise.