ライン制御装置、バックアップユニット形成装置、及び基板処理装置

【課題】バックアップユニットのセット数を増加させることなく、基板群の品種切り替え作業を円滑に行う。 【解決手段】本発明のライン制御装置（ライン制御ＣＰＵ７０）は、各処理機１０、３０が一の種類の基板群に対する処理を実行しているときに、その種類の基板群に対する処理の完了タイミングを取得する処理完了タイミング取得手段と、バックアップユニット形成装置１００によって次の種類の基板のためのバックアップユニットＢの形成作業に要する作業時間に対応する情報を取得する準備時間取得手段と、処理完了タイミングから少なくとも作業時間だけ先行したタイミングでバックアップユニット形成装置１００に作業開始指令を出力する作業開始タイミング出力手段とを備えている。 【選択図】図４