Appareil d'exposition et procédé de fabrication du dispositif

Un appareil d’exposition dans lequel l’alimentation de liquide et la recuperation du liquide pour former une region d’immersion liquide sont realisees de maniere excellente afin de former une region d’immersion liquide dans une condition souhaitee, permettant une tres grande precision de l’exposition et de la mesure a realiser. Un appareil d’exposition (EX) est un appareil qui expose un substrat (P) en emettant une lumiere d’exposition (EL) sur le substrat (P) au travers d’un liquide (LQ). L’appareil d’exposition a un mecanisme d’alimentation du liquide (10) ayant un orifice d’alimentation (13) susceptible d’introduire le liquide (LQ) dans la direction essentiellement parallele a la surface du substrat (P).