照明装置、露光装置、及びデバイス製造方法

【課題】照明効率の低下を抑制できる照明装置を提供する。 【解決手段】照明装置は、光源から発した照明光によって物体を照明する。照明装置は、光源の周囲の一部に配置された凹曲面状の反射面を有し、反射面によって照明光を反射する第１反射部材と、第１反射部材が反射した照明光を物体に導く導光光学系と、導光光学系に設けられ、照明光の一部を通過させて、物体に対する照明光の照射範囲及び開口数の少なくとも一方を制限する制限部材と、導光光学系に設けられ、第１反射部材が反射した照明光のうち、制限部材を通過可能な第１部分光以外の第２部分光の少なくとも一部を反射し、照明光の光路を逆進させて第１反射部材に入射させる第２反射部材とを備えている。 【選択図】図１