The combined sensor

Es wird ein kombinierter Sensor geschaffen, der mehrere physikalische Grosen detektieren kann. Mit dem kombinierten Sensor ist es moglich, unter Aufrechterhaltung der Leistungsfahigkeit eine Grosenverringerung und eine Verringerung der Kosten durch eine Erhohung der Anzahl von Elementen, die von den jeweiligen Sensoren gemeinsam genutzt werden konnen, zu verwirklichen. Ein Gewicht M2 und eine Detektionselektrode DTE2, die in einem Winkelgeschwindigkeitsdetektionsabschnitt verwendet werden, werden auch als ein kapazitives Referenzelement eines Z-Richtungs-Beschleunigungsdetektionsabschnitts, der konfiguriert ist, eine Beschleunigung in einer Z-Richtung zu detektieren, verwendet. Das bedeutet, dass in dem Z-Richtungs-Beschleunigungsdetektionsabschnitt ein kapazitives Detektionselement, das das Gewicht M2 und die Detektionselektrode DTE2 enthalt, die den Winkelgeschwindigkeitsdetektionsabschnitt konfigurieren, als ein kapazitives Referenzelement fur ein kapazitives Detektionselement, das durch eine Detektionselektrode DTE5 und ein Gewicht M4 gebildet ist, verwendet wird.