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Acemap > Paper > 비대칭 펄스 DC 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 나노결정질 TiN 박막의 성장거동

비대칭 펄스 DC 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 나노결정질 TiN 박막의 성장거동

2011 
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