Recuit laser a focalisation lineaire d'une espece enterree

L'invention concerne un procede consistant a introduire une espece dans un substrat comprenant un materiau semi-conducteur, puis a balayer une surface du substrat a l'aide d'un rayonnement electromagnetique a focalisation lineaire, le rayonnement electromagnetique etant suffisant pour modifier thermiquement l'espece. L'invention concerne egalement un dispositif comprenant une source de rayonnement electromagnetique ; un etage ayant des dimensions adaptees pour recevoir un substrat semi-conducteur a l'interieur d'une chambre ; un element optique situe entre la source de rayonnement electromagnetique et l'etage, servant a focaliser le rayonnement electromagnetique provenant de la source de rayonnement electromagnetique pour former une ligne dont la longueur depend du diametre d'un substrat a placer sur l'etage ; et un controleur couple a la source de rayonnement electromagnetique, comprenant des instructions de programme lisibles par une machine permettant d'adapter le rayonnement pour qu'il atteigne une profondeur predeterminee a l'interieur du substrat.