薄膜厚度对La 1.85 Sr 0.15 CuO 4 薄膜结构和超导电性的影响

使用直流同轴磁控溅射法，在SrTiO 3 (STO)衬底上成功制备出 c 取向的La 1.85 Sr 0.15 CuO 4 (LSCO)超导薄膜.通过电输运测量系统和X射线衍射仪研究了薄膜厚度对LSCO( x ＝0.15)薄膜电学性质和晶体结构的影响.实验证明随着膜厚增加，(006)衍射峰的半高宽(Full Width at Half Maximum，FWHM)逐渐减小，薄膜的取向性增强，与此同时，薄膜的超导转变温