フッ素アルコール化合物の製造方法、含フッ素単量体、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法

【解決手段】式（１）で示されるフッ素化合物に式（２）及び（３）で示される還元剤又は有機金属試薬を反応させる式（４）で示されるフッ素アルコール化合物の製造方法。 （式中、Ｒ 1 はＨ、又はＣ１〜２０の１価炭化水素基で、１価炭化水素基の場合、構成する−ＣＨ 2 −が−Ｏ−又は−Ｃ（＝Ｏ）−に置換されていてもよい。Ｒ 2 はＨ、又はＣ１〜６の１価炭化水素基。Ｒ 3 、Ｒ 4 はＨ、又はＣ１〜８の１価炭化水素基。Ｍ 1 は置換されていてもよいＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｂ、Ｓｉ。） 【効果】本発明の含フッ素単量体は、機能性材料、医薬・農薬等の原料として、中でも感放射線レジスト材料のベース樹脂を製造するための単量体として有用である。本発明の方法によれば、単量体を極めて容易にかつ安価に製造可能である。 【選択図】なし