非平衡大気圧He/CH₄パルスプラズマのシミュレーション : 印加電圧の波形パラメータが電極への入射イオン特性に及ぼす影響 (誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会 放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧/誘電・絶縁材料)