Kondensator mit ruthenhaltigen Elektroden

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung von Schichten aus Ruthen oder Ruthen(IV)oxid sowie einen Kondensator, welcher zumindest eine Elektrode umfasst, die zumindest abschnittsweise aus Ruthen oder Ruthen(IV)oxid aufgebaut ist. Beim erfindungsgemasen Verfahren wird auf einem Substrat zunachst eine Schicht aus Ruthen oder Ruthen(IV)oxid abgeschieden und diese Schicht anschliesend zumindest abschnittsweise mit einer Deckschicht abgedeckt. Durch Tempern des so erhaltenen Aufbaus in einer Sauerstoffatmosphare wird das Ruthen in den freiliegenden Abschnitten in RuO 4 umgewandelt und durch Sublimation entfernt. Das Verfahren ermoglicht die einfache Strukturierung von Schichten aus Ruthen oder Ruthen(IV)oxid und den Aufbau komplexer Strukturen, wie beispielsweise Grabenkondensatoren.