Procédé et dispositif d'écriture
2006
Le probleme a resoudre dans le cadre de la presente invention est de commander la position du bord d'une image d'exposition avec une precision elevee dans un procede d'exposition. Dans ledit procede, une matrice a micromiroirs organisee en un grand nombre de micromiroirs est deplacee par rapport a un substrat et des groupes de points d'exposition sont formes de maniere sequentielle sur le substrat en fonction du mouvement exposant ainsi une image d'exposition. La solution proposee consiste en ce que la position du bord d'une image d'exposition sur un substrat soit commandee en commandant l'etat d'exposition d'au moins un micromiroir parmi une pluralite de micromiroirs formant le bord de l'image d'exposition.
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