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DRAMキャパシタ形成のための高アスペクト比コンタクト(HARC)エッチングにおける課題
DRAMキャパシタ形成のための高アスペクト比コンタクト(HARC)エッチングにおける課題
2015
Kim Yongjin
Lee Sangdo
Jung Taewoo
Lee Byungseok
Kwak Nohjung
Park SungKi
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