Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
Реактивное магнетронное осаждение оксида индия, легированного оловом, с контролем рабочего давления
Реактивное магнетронное осаждение оксида индия, легированного оловом, с контролем рабочего давления
2015
Ю. А. Хохлов
Н М Березин
В А Богатов
А Г Крынин
Keywords:
planar magnetron
Analytical chemistry
Materials science
reactive deposition
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]