Composition durcissable pour impression, produit durci, procédé de formation de motif, procédé lithographique, motif et masque lithographique
2016
La presente invention concerne : une composition durcissable pour impression, qui peut a la fois ameliorer des proprietes de demoulage et supprimer l'apparition d'une ondulation au cours de la gravure ; un produit durci obtenu a l'aide de ladite composition durcissable pour impression ; un procede de formation d'un motif ; un procede lithographique ; un motif ; et un masque lithographique. La composition durcissable pour impression contient un compose polymerisable monofonctionnel, un compose polymerisable polyfonctionnel qui comprend une structure alicyclique et/ou une structure aromatique et qui presente une viscosite a 25 °C inferieure ou egale a 150 mPa·s, et un initiateur de photopolymerisation, le compose polymerisable monofonctionnel etant present dans une proportion situee dans la plage allant de 5 a 30 % en masse par rapport a la quantite totale de composes polymerisables dans la composition durcissable pour impression, et un film durci de la composition durcissable pour impression presentant un module d'elasticite inferieur ou egal a 3,5 GPa et une temperature de transition vitreuse superieure ou egale a 90 °C.
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