Layer system and optical element with a layer system
2015
Die Erfindung betrifft ein Schichtsystem (100), mit wenigstens einem Stapel (14) von aufeinander folgenden Schichtpaketen (20, 22, 24, 26, 28), wobei jedes Schichtpaket (20, 22, 24, 26, 28) eine erste Teilschicht (30) mit einer ersten optischen Dicke (t1) und eine zweite Teilschicht (32) mit einer zweiten, von der ersten optischen Dicke (t1) verschiedenen optischen Dicke (t2) umfasst. Dabei sind optische Eigenschaften des Schichtpakets (20, 22, 24, 26, 28) abhangig von einem Parameter (σ) vorgebbar, wobei die jeweiligen Schichtpakete (20, 22, 24, 26, 28) abhangig von einem Quotienten (v i ) der optischen Dicke (t1) jeweils einer hoherbrechenden Teilschicht (30) und einer optischen Dicke (t2) der niedrigerbrechenden Teilschicht (32) des Schichtpakets (20, 22, 24, 26, 28) gebildet sind, wobei der Index i die Reihenfolge der aufeinander folgenden Schichtpakete (20, 22, 24, 26, 28) im Stapel (14) bezeichnet. Die hoherbrechende Teilschicht (30) umfasst insbesondere eine hochbrechende Teilschicht (30) und die niedrigerbrechende Teilschicht (32) umfasst insbesondere eine niedrigbrechende Teilschicht (32). Der Parameter (σ) ist dabei eine Funktion eines Verhaltnisses der Quotienten (v 1 , v 2 , v 3 , v 4 , v 5 ). Es ist eine Reflektivitat (Rm) des Stapels (14) von Schichtpaketen (20, 22, 24, 26, 28) vorgebbar. Das Produkt aus Reflektivitat (Rm) und dem Parameter (σ) ist kleiner als 1 bei einer Entspiegelung und/oder antireflektierenden Wirkung des Stapels (14) von Schichtpaketen (20, 22, 24, 26, 28), oder groser oder gleich 1 fur eine Verspiegelung. Die Erfindung betrifft ferner ein optisches Element (100) mit einem solchen Schichtsystem (10) sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Schichtsystems (10).
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