Miroirs de Bragg et microcavités en silicium poreux : effet de l'oxydation

Des structures verticales que sont des miroirs de Bragg et des microcavites ont ete elaborees en silicium poreux et en silice poreuse. La silice poreuse est obtenue en oxydant le silicium poreux. Une etude preliminaire a permis d'etudier l'indice de refraction des couches en silicium poreux avant et apres oxydation, la vitesse de formation de ces couches et l'evolution de la variation de l'epaisseur apres oxydation en fonction de la porosite initiale des couches. L'objectif de ce travail est d'anticiper l'evolution de la reponse spectrale de ces dispositifs due a l'oxydation.