碳—氢—氯体系金刚石薄膜生长条件预测

首次计算了一碳－氢－氯体系中生长金刚石膜的相图，研究了该体系中金刚石生长区随衬底温度及氯含量变化的趋势，与实验结果符合较好，计算结果表明，Ｃ－Ｈ－Ｃｌ系相图中金刚石生长区被限制在两个小三角形（ＣＨ４－Ｈ－ＨＣｌ和ＣＣｌ４－ＨＣｌ－Ｃｌ）中变化，可能生长金刚石薄膜的碳氢氯组分波严格地限制在金刚石生长区内，并随生长温度和压力等条件而变化，当气相中氯含量与氢的含量相近时，金刚石生长区趋于消失，金刚石生长