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438 微小変位計測によるジルコン酸チタン酸鉛膜の圧電特性評価(複合機能化材料・デバイスとその加工プロセス)
438 微小変位計測によるジルコン酸チタン酸鉛膜の圧電特性評価(複合機能化材料・デバイスとその加工プロセス)
2009
takasi iizima
yuutarou komuro
souitirou okamura
seizi fukuyama
Keywords:
Piezoelectric accelerometer
Electronic engineering
Piezoelectric coefficient
Materials science
PMUT
Piezoelectric sensor
Acoustics
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