Rapid thermal processing system, method for manufacturing the same, and method for adjusting temperature

本发明公开了一种快速升温处理设备、其制造方法及温度调节方法。 对衬底(100)进行快速升温处理的快速升温处理设备，包括：支承衬底(100)的衬底支承部件(102)、和测量快速升温处理中的衬底(100)的温度的多个光学的高温测量器(105)。 多个光学的高温测量器(105)，至少设置在衬底(100)的中央部分和端部，却不直接与衬底(100)接触。 利用快速升温处理衬底(100)，获取衬底(100)中的滑移量或者氧化膜厚等依赖于温度的量之后，再根据该依赖于温度的量，分别独立地修正每一个光学的高温测量器(105)的温度偏移量。