Nanoszerkezetek vizsgálata és módosítása ionsugarakkal = Investigation and modification of nanostructures by ion beam

A nanoszerkezetek (nm-es dimenzioju rendszerek) mind a szilardtestfizikai alapkutatas, mind pedig a technologiai alkalmazasok szempontjabol erdekesek. A nanoszerkezetek koze tartozik minden olyan szerkezet, amelynek egy vagy tobb dimenzioja esik a nm-es merettartomanyba, igy a retegszerkezetek, a nanokristalyok vagy a porozus szerkezetek is. A kiserleteink targyat kepező kulonfele nanoszerkezeteket - mind a femes, felvezető es szigetelő retegek es hordozok eseten - a technologiai szempontbol erdekes problemak alapjan valasztottuk. Vizsgaltuk a GMR tulajdonsagot mutato Fe/Ag rendszert, orvosi implantatumok anyagaikent hasznalhato vanadiummentes titanotvozeteket oxidacios tulajdonsagait, felvezető anyagokban az ionimplantacioval okozott hibastrukturakat, gyemantszerű szenretegeket, a SiO2-ba implantalt helium viselkedeset, magneses nanohuzalokat, halak fulkovet (otolith), granularis nanokompozitok magneses es transzport tulajdonsagait. A meresek kiertekelesehez folyamatosan fejlesztettuk kiertekelő programjainkat, ezek kozul kiemelhető a nanoszerkezeteken tortenő visszaszorasi spektrometria ertelmezesere hasznalhato RBS-MAST program tovabbfejlesztese. | The nanostructures (systems with nm dimension) are interesting also for fundamental research in solid-state physics and for the technological applications. All structures, for which one and more dimensions fall into the nm size ranges are called nanostructures eg., layer structures, nanocrystals and porous materials. Various nanostructures are subject of our experiments - metallic, semi-conductor and insulating layers on substrates. All of them were chosen as technologically interesting problems. Fe/Ag systems showing GMR characteristic, magnetic nanowires, magnetic and transport properties of granular nanocomposits, oxidising properties of vanadium free titanium alloys as the substances of medical implants, diamond-like carbon layers, ion implantation induced damage in semiconductor materials, the behaviour of ion implanted helium in SiO2 and the ear stones of fish (otolith) were investigated. To interpret the measurements our programs were developed further, we may stress the importance of RBS-MAST code, which is used for backscattering spectrometry on the nanostructures.