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スパッタ蒸着非晶質SiGe膜の二重結晶化モード【JST・京大機械翻訳】
スパッタ蒸着非晶質SiGe膜の二重結晶化モード【JST・京大機械翻訳】
2020
Masayuki Okugawa
Ryusuke Nakamura
Hiroshi Numakura
Manabu Ishimaru
Hideyuki Yasuda
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