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저유전율 물질인 Methylsilsesquioxane의 반응 이온 식각 공정
저유전율 물질인 Methylsilsesquioxane의 반응 이온 식각 공정
2000
정도현
이용수
이길헌
김광훈
이회우
최종선
Keywords:
Analytical chemistry
Process engineering
Materials science
Nanotechnology
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