Procédé de mesure de potentiel d'échantillon et dispositif à faisceau de particules chargées

Pour realiser une mesure de charge d'echantillon ou une mise au point a grande vitesse et a haute precision meme sur un echantillon dans lequel une charge fixe et une charge induite peuvent etre presentes de facon melangee, l'invention porte sur un procede de mesure de potentiel d'echantillon caracterise par la mesure selective du potentiel d'un echantillon a l'aide d'un second dispositif de mesure de potentiel d'echantillon a l'interieur d'une chambre d'echantillon lorsque des informations de potentiel d'echantillon obtenues par un premier dispositif de mesure de potentiel d'echantillon installe a l'exterieur de la chambre d'echantillon ou des informations de potentiel d'echantillon precedemment acquises sont superieures ou egales a une valeur predeterminee, ou superieures a la valeur seuil. L'invention porte egalement sur un dispositif de mise en œuvre du procede.