Kontinuierliche laterale Abtastung von Oberflächen durch axiale Regelung des Arbeitsabstandes in einem Nanokoordinatenmessgerät mit einem hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten, konfokalen Punktsensor / Lateral closed-loop scans of surfaces using a nano coordinate measuring system and a high-speed focal-distance modulated fibre-coupled confocal sensor
2018
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
2
Citations
NaN
KQI