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シリコンベース圧電MEMS球形ベクトルハイドロフォン設計【JST・京大機械翻訳】
シリコンベース圧電MEMS球形ベクトルハイドロフォン設計【JST・京大機械翻訳】
2020
Li Fen
Shi Shuzheng
Yang Xiangyu
He Jian
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