Polymer planar light circuit type dissolved oxygen sensor
2013
평면 고분자 광회로형 용존 산소 센서 및 제조 방법을 제공한다. 고분자 복제 공정으로 저비용, 단순한 공정으로 용존 산소 측정용 센서 제작이 가능하다. 도한, 용존 산소 측정을 위한 광연결에서 수동 광정렬이 가능하여 공정 단계 및 시간이 줄어들고 광손실 제어가 가능하여 높은 신뢰성을 확보할 수 있게 된다. 그리고 광 신호의 전송 선로와 센싱 멤브레인이 평면 고분자 쉬트에 내장 및 적층된 구조로 제작이 가능하여 고집적화가 가능하다.
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