Dispositif et procédé de mesure de distance interférométrique compensée en température lors de l'usinage par laser de pièces

Dans un dispositif (3) destine a mesurer la distance (A) entre une surface reflechissante (2a) d'une piece (2) et une surface de reference reflechissante (2b) lors de l'usinage par laser de la piece (2), un interferometre (5) comprend un diviseur de faisceau (6), qui divise la lumiere (7) de l'interferometre en un bras de mesure (9) servant de faisceau de mesure (10) et en un bras de reference (11) servant de faisceau de reference (12), et un detecteur (13) qui detecte le faisceau de mesure (10) reflechi par la surface (2a) de la piece et le faisceau de reference (12) reflechi par la surface de reference (2b), le bras de mesure (9) et le bras de reference (11) etant de meme longueur a l'interieur de la longueur de coherence de la lumiere (7) de l'interferometre. L'invention est caracterisee en ce que le bras de mesure (9) comporte une fibre de mesure (14) et le bras de reference (11) comprend une fibre de reference (15) et la fibre de mesure (14) et la fibre de reference (15) s'etendent parallelement l'une a cote de l'autre sur toute leur longueur ou sur une partie de leur longueur, en particulier lorsque les fibres ont des longueurs (14, 15) differentes sur toute la longueur de la fibre la plus courte, et sont en contact thermique l'une avec l'autre, en ce que le bras de mesure (9) comporte comme surface reflechissante de la piece une premiere zone de surface (2a) et le bras de reference (11) comporte comme surface de reference reflechissante une seconde zone de surface (2b) de la piece (2), et en ce qu'entre la piece (2) et l'extremite cote piece de la fibre de mesure (14) et/ou de la fibre de reference (15) est dispose un systeme optique de deviation (16) qui deplace le faisceau de mesure (10) et/ou le faisceau de reference (15) conjointement ou separement sur la surface de mesure et/ou la surface de reference (2a, 2b).