Dispositif et procede pour l'evaluation sans contact de composant de piece de travail en semi-conducteur

Procedes et dispositifs pour l'evaluation de composant dans une piece de travail en semi-conducteur. Sous plusieurs variantes, on decrit des procedes sans contact et des systemes correspondants permettant de determiner une dose et une energie d'implantation de dopant ou d'autre composant implante dans cette piece. Selon une variante, par exemple, on decrit un procede qui consiste a irradier une partie de la piece, a mesurer la photoluminescence de cette partie et a determiner une propriete physique de structure dopee dans la piece sur la base de la mesure effectuee.