Al 2 O 3 微孔膜对60 keV O + 离子的“导向”效应

Yifeng Chen,Ximeng Chen,Fengjun Lou,xujinzhang,shaojianxiong,Guangzhi Sun,ou syun,xifayuan,Yongzhi Yin,wangxingan,Junkui Xu,Ying Cui,dingbaowei

Al 2 O 3 微孔膜对60 keV O + 离子的“导向”效应

2010

Yifeng Chen
Ximeng Chen
Fengjun Lou
xujinzhang
shaojianxiong
Guangzhi Sun
ou syun
xifayuan
Yongzhi Yin
wangxingan
Junkui Xu
Ying Cui
dingbaowei

在不同入射角度条件下，研究了60 keV的O + 离子入射孔径分别为50 nm和30 nm，厚度为10 μm Al 2 O 3 微孔膜的角分布.实验结果表明离子透射微孔膜时发生了导向效应，随着入射角度的增大，透射于孔径大的微孔膜离子计数下降比较快，透射于孔径小的微孔膜离子计数下降比较缓慢.建立了一个初步的理论模型，对以上现象给出了较好的解释.

Keywords:

Crystallography
Chemistry
Materials science

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