4족 전이금속 전구체, 이의 제조 방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법

본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 4족 금속 전구체에 관한 것으로, 상기 4족 전이금속 전구체는 열적으로 안정하고 휘발성이 좋으므로 양질의 4족 전이금속 박막을 형성할 수 있다. [화학식 1] (상기 식에서, M은 Ti, Zr 또는 Hf이고, R 1 은 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기, 또는 C6-C12의 방향족 탄화수소이며, R 2 , R 3 은 각각 독립적으로 H이거나 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, 또는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기고, R 4 및 R 5 는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이다.)