Cassette de sonde, appareil d’inspection de semi-conducteur et procédé de fabrication de dispositif semi-conducteur

L’invention porte sur un appareil d’inspection de plaquette complet, garantissant la precision de position de bord d’attaque d’une borne de contact et examinant de maniere sure les elements semi-conducteurs formes sur une plaquette en lot, et sur un procede de fabrication de dispositif semi-conducteur. Une cassette de sonde a utiliser dans l’appareil d’inspection de semi-conducteur est munie d’une feuille de sonde (31), possedant une pluralite de bornes de contact (7) qui sont mises au contact d’une electrode (3) de la plaquette (1) et possedant une pluralite de perles de contact (20b) connectees electriquement avec chacune des bornes de contact (7); et une feuille de sonde (34), possedant une pluralite d’electrodes de contact (34a) mises au contact de la perle de contact (20b) de la feuille de sonde (31) et possedant une pluralite d’electrodes peripheriques (27b) connectees electriquement avec chacune des electrodes de contact (34a). La carte de sonde prend en sandwich la plaquette (1) avec la feuille de sonde (34) par depressurisation a travers la feuille de sonde (31) et l’on procede a une inspection en amenant la borne de contact (7) au contact de l’electrode (3) de la plaquette (1) a une pression d’air voulue. La borne de contact (7) est en forme de pyramide ou de pyramide tronquee et la feuille de sonde (34) est revetue d’un film de metal (30b).