洁净室（区）中悬浮粒子检测结果不确定度评定

目的：评定尘埃粒子计数器测量洁净室中悬浮粒子结果的不确定度。方法：建立测量过程中的数学模型，对过程中的误差进行辨别，分析测量过程中的不确定度。结果：粒径≥0．5μm的粒子其测定结果的相对扩展不确定度为0．4799；粒径≥5μm的粒子其测定结果的相对扩展不确定度为0．4804。