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Acemap > Paper > 負イオン注入法でSiO 2 薄膜中に形成した金属ナノ粒子の状態と注入原子分布計算の関係

負イオン注入法でSiO 2 薄膜中に形成した金属ナノ粒子の状態と注入原子分布計算の関係

2004 
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