박막 벌크 음향 공진기 및 이를 포함하는 필터

본 발명은 기판; 상기 기판의 상부에 배치되는 제1 전극; 상기 제1 전극 상에 배치되며, 도핑 원소가 첨가된 질화 알루미늄을 포함하는 복수의 압전층을 포함하는 압전체; 상기 압전체 상에 배치되며, 상기 압전체를 사이에 두고 상기 제1 전극과 서로 대향하는 제2 전극;을 포함하고, 상기 압전층 중 적어도 하나는 압축 응력 하에서 형성되는 압축층인 박막 벌크 음향 공진기에 관한 것이다.