Détermination des propriétés physiques d'un substrat

La presente invention concerne un procede de determination d'une propriete physique d'un substrat comprenant l'enregistrement d'un premier spectre obtenu a partir d'un substrat, le premier spectre etant obtenu pendant un procede de polissage qui altere une propriete physique du substrat. Le procede comprend l'identification, dans une base de donnees, d'au moins un des nombreux spectres enregistres precedemment qui est similaire au premier spectre enregistre. Chacun des spectres dans la base de donnees possede une valeur de propriete physique associee a celui-ci. Le procede comprend la production d'un signal indiquant qu'une premiere valeur de la propriete physique est associee au premier spectre, la premiere valeur etant determinee en utilisant la valeur de propriete physique associee au spectre identifie enregistre precedemment dans la base de donnees. Un systeme destine a determiner une propriete physique d'un substrat comprend une machine a polir, un module de determination du point final, et une base de donnees.