Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
СЕЛЕКТИВНОЕ, ОТНОСИТЕЛЬНО ПОВЕРХНОСТИ МЕДИ, ОСАЖДЕНИЕ МОЛЕКУЛ СИЛАНОВ НА ПОВЕРХНОСТЬ LOW-K-ДИЭЛЕКТРИКОВ
СЕЛЕКТИВНОЕ, ОТНОСИТЕЛЬНО ПОВЕРХНОСТИ МЕДИ, ОСАЖДЕНИЕ МОЛЕКУЛ СИЛАНОВ НА ПОВЕРХНОСТЬ LOW-K-ДИЭЛЕКТРИКОВ
2020
А. А. Резванов
Е. С. Горнев
Ж.Ф. де Марнефф
С. Армини
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]