素子基板、検査方法、及び半導体装置の作製方法

【課題】信頼性の高い素子特性評価が可能な半導体層を有する基板、およびその評価方法を提供することを課題とする。 【解決手段】本発明の半導体層を有する基板は、アンテナコイルと半導体素子とが直列に接続されてなる閉ループ回路が形成され、回路が形成された領域の表面は絶縁膜で覆われている。このような回路を用いることによって、非接触で検査を行うことができる。また閉ループ回路に変えてリングオシレータを適用することができる。 【選択図】図１