ЗАВИСИМОСТЬ УГЛОВЫХ ХАРАКТЕРИСТИК РАСПЫЛЕНИЯ НИТРИДА БОРА ОТ ЕГО ТЕМПЕРАТУРЫ

Методом молекулярной динамики проведен расчет угловой зависимости коэффициента распыления и пространственного распределения частиц, выходящих из поликристалла нитрида бора вюрцитной структуры в интервале температур от 0 до 2800°С при бомбардировке ионами ксенона с энергией 300 эВ. Обнаружено уменьшение крутизны кривых угловой зависимости распыления нитрида бора при повышении его температуры. Проанализированы особенности полученных распределений, исходя из механизмов взаимодействия медленных тяжелых ионов с поверхностными атомами мишени.